電磁波解析ソフトKeyFDTD解析事例に表面プラズモン共鳴を利用したSiナノフォトダイオードのシミュレーションを追加しました。

LSI上で光配線を実現するためには、光導波路と回路を高効率で光結合する光電素子が必要です。本解析事例では光結合を効率化するためにAg周期構造を付与したSiナノフォトダイオードを解析しました。SiON光導波路とSi吸収層の界面に配置したAg周期構造が表面プラズモン共鳴により光結合を効率化する様子をシミュレーションで可視化しています。

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